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風(fēng)壓傳感器原理大揭秘
時間 : 2024-11-20
在我的記憶里傳感器也是一個靜態(tài)特性傳感器，就是指靜態(tài)的輸出信號，傳感器的輸出量與輸出之間是有互相差距的，因?yàn)檩敵雠c輸入都是與時間無任何關(guān)系！所以它們之間任何關(guān)系沒有。及時傳感器是一個靜態(tài)特性可代表的沒有任何時間量的代表方程或可以輸入橫坐標(biāo)，還可畫圖來表示，傳感器的靜態(tài)表示主要有:漂移、靈敏性、線性度和重復(fù)性。
壓阻式壓力傳感器是利用單晶硅材料的壓阻效應(yīng)和集成電路技術(shù)制成的傳感器。壓阻式傳感器常用于壓力、拉力、壓力差和可以轉(zhuǎn)變?yōu)榱Φ淖兓钠渌锢砹?如液位、加速度、重量、應(yīng)變、流量、真空度)的測量和控制。
當(dāng)力作用于硅晶體時，晶體的晶格產(chǎn)生變形,使載流子從一個能谷向另一個能谷散射,引起載流子的遷移率發(fā)生變化，擾動了載流子縱向和橫向的平均量，從而使硅的電阻率發(fā)生變化。這種變化隨晶體的取向不同而異，因此硅的壓阻效應(yīng)與晶體的取向有關(guān)。硅的壓阻效應(yīng)不同于金屬應(yīng)變計，前者電阻隨壓力的變化主要取決于電阻率的變化，后者電阻的變化則主要取決于幾何尺寸的變化(應(yīng)變)，而且前者的靈敏度比后者大50～100倍。
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